M03100 - SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 StdPbc-0219 本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年1月2日，global Audits

本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年1月2日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2009年2月にwww

本基準係在提供半導體製造設備人因工程的設計原理及考量事項。

4  Guides formed by a consensus of viewpoints are provided to suggest a foundation to specify an epitaxial wafer for use in integrated circuit manufacture at advanced design rules

SEMI E49-0419 (technical revision)

M03100 - SEMI M31 - 300 mmウェーハの搬送および出荷用フロントオープニング・シッピングボックスの機械仕様 StdPbc-0219 本スタンダードは，global Silicon Wafer Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年1月2日，global AuditsNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Silicon Wafer Global Technical Committee200853global Audits and Reviews Subcommittee20086www. semi. org199820073 IC300 mm (front opening shipping Box: FOSB) FOSBFOSB FOSBICFOSBFOUPFOBITICFOSBFOUPFOBIT 5. 4FOSB 5. 4. 1 5. 4. 2