M01500 - SEMI M15 - 半絶縁ガリウムヒ素ウェーハ用の鏡面ウェーハの許容表面欠陥表 Revision:SEMI M15-0298 - Inactive This standard was technically approved

Name: M01500 - SEMI M15 - 半絶縁ガリウムヒ素ウェーハ用の鏡面ウェーハの許容表面欠陥表 Revision:SEMI M15-0298 - Inactive This standard was technically approved
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Description

This standard was technically approved by the global Information & Control Committee

and the sampling interval determines the highest observed spatial frequency

but it is recommended that the tests be repeated on an annual basis or whenever the instrument appears to be out of control

本スタンダードはその使用に関連した全ての安全問題を取り扱うことを意図していない。このスタンダードの使用者は，その責任において，適切な安全及び健康上の作業方法を確立し，また使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである。

M01500 - SEMI M15 - 半絶縁ガリウムヒ素ウェーハ用の鏡面ウェーハの許容表面欠陥表 Revision:SEMI M15-0298 - Inactive This standard was technically approvedGaAs Referenced SEMI Standards None.

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