E05420 - SEMI E54.20 - Specification for Sensor/Actuator Network Communications for EtherCAT® Revision:SEMI E54.20-0316 - Superseded •Ease of Use

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and to insure that the quality of facilities supplied (e

本スタンダードは，300 mm径ウェーハキャリア（搬送用カセット，プロセスカセット，クォーツボート，ポッド，ロットボックス，シッピングボックスを含む）を人間工学的に設置し，正確に支持するのに使用される，自動位置決め機構であるキネマティックカプリングを規定する。これらのキネマティックカプリングは次のようなインタフェースにおいて使用される。

SEMI E40-0307 (technical revision)

E05420 - SEMI E54.20 - Specification for Sensor/Actuator Network Communications for EtherCAT® Revision:SEMI E54.20-0316 - Superseded •Ease of Use1 Purpose 1. 1 This Specification is part of the SEMI Sensor Actuator Network (SAN) suite of Standards and defines a specific communications protocol based on the EtherCAT standard. This Network Communication Standard (NCS) taken together with the SEMI Sensor Actuator Network Standard suite and the EtherCAT standard completely and unambiguously defines an open standard providing an industry specific solution to off the shelf interoperability of